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공초점 현미경, NSOM 또는 AFM 중 한 가지 모드를 이용할 수 있다. 따라서 위 기기는 지형과 광학 이미지를 동시에 얻을 수 있다. 또한 공초점 라만현미경과 AFM을 결합하여 분석이 가능하다. 즉, 한 기기를 이용하여 샘플의 동일 측정 위치에서 AFM을 통한 구조 분석과 공초점 현미경을 통한 화학 분석을 동시에 가능하게 한다.

 

- Scanning near-field optical microscope

- AFM mode- acoustic AC mode- contact mode

- Sample scanning: highly liner piezo-driven feedback-controlled scan stage

- Capacitive feedback-control in all aces to eliminate hysteresis, creep and non-linearity

- Scan range: 100×100×20um


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